华为投资光刻机公司意味什么?

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早晨读到朋友发来的文章《重磅!华为投资光刻机公司!》:“据最新消息,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域了,入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司!从企业信息来看,北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化,注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元,增长68%,主要是投资人多了,其中就有华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为第七大股东。科益虹源的名字并不为产业外的人熟悉,该公司的控股股东是中科院微电子所,持股26.6%,主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。“

光刻机三大核心技术指的是:双工件台、光学系统和光源系统。

搜到投影问答上的一个问题《如何看待爆料上海微电子明年将交付28nm光刻机一事?是否属实?》,其中“术数古籍专卖疤”的回答显得非常专业,他说:

上海微电子十年研发经费只有6亿,人少钱少,光刻机进展缓慢,华为海思和中芯为什么不入股与其合研光刻机?从各个子项目的进度来看:

华卓精科的双工件台的情况良好,干式和浸没式的样机都已经出货,但有相关人士透漏产品的EMC兼容还存在问题。启尔机电的液浸系统也还算顺利,2019年底刚通过了02专项的CDR里程碑评审,研发和试产基地也完成了建设。

负责光学系统的长春国科精密在2018年通过了面向90nm节点的NA 0.75级投影光刻曝光光学系统验收,此后再没有了新的消息。2019年中科院转向和北京市政府合作,以中科院长春光机所和上海光机所的知识产权入股组建新公司——北京国望光学,吸收合并国科精密。虽然1.35 NA级的光学系统也一直处于研发状态,但我不认为经历了这么多变故可以在短期内完成。

至于光源系统,据公开消息似乎不容乐观。科益虹源此前交付了40w 4kHz ArF光源的样机,但主流的ArF浸没式光刻机一般需要60w 6kHz等级的光源。鉴于该公司的官网已经挂掉,最近也鲜有新的消息,我觉得发展似乎不怎么顺利。“

如果这个网友给的信息是正确的,那么华为入股科益虹源很可能说明科益虹源已经研制成功“主流的ArF浸没式光刻机一般需要60w 6kHz等级的光源”,并且由研发阶段进入量产阶段,在这个阶段对资金的需求量就会大幅增加,科益虹源就有了大幅扩张股本的需求,而华为哈勃就有了入股的机会。从华为仅占比4.76%看,说明科益虹源的股权很抢手,应该是大量财务投资资金入股了该公司,这也间接说明,科益虹源的商业前景明朗,说明国产DUV光刻机有望在不久的将来大规模出货。

现在网上关于华为在芯片制造领域里的消息很多,但都没有实锤,华为入股科益虹源是一个实锤,说明华为确实一直在关注光刻机的进展,并为光刻机研发做着贡献,这也很可能证实了华为在建设自己的芯片制造工厂,如果华为不自己制造芯片,那么只需要关注芯片制造企业的进展就行,没有必要再切入芯片制造的上游。

网上还有一篇相关文章《不止28nm,华为、上海光机所加持,国产光刻机步入13.5nm制程节点》指“2021年6月2日,中科院上海光学精密机械研究所研究员田野,受邀参加浦江创新论坛科技创新青年峰会。田野在会中表示光源系统与光学镜头是困扰我国光刻领域的核心问题。为了解决光源、光学镜头问题,上海光机所将重点放在EUV光镜、光源身上,特别是从准分子波段推进到13.5纳米的新波段。”

13.5纳米是EUV光刻机使用的极紫外光。“2020年3月17日,上海光机在光学元件研究中取得重大进展,提出分段路径卷积模型与光顺理论,成功定量预测加工导致的中频误差幅值和形貌分布。简单来说,在有关EUV光源提纯度、光学镜头镜面光洁度方面,采用超精密加工技术的上海光机将大幅提高光源、镜头设备制程先进水平。”

这说明中国不仅要造DUV光刻机,还要造EUV光刻机,而且不仅是有意愿,更有了实质性突破。这跟中科院吴汉明院士“中国造光刻机不现实”观点不符,更接近林毅夫“三年就可以攻克光刻机”的观点。

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